分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵,是一种超高真空获得设备,广泛用于电子零部件、集成电路、太阳能电池、薄膜技术、高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器等方面。
常见的分子泵
1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
工作条件
(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
结构特点
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。
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