复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。巩华真空泵油厂家本文为大家简单介绍复合分子泵的相关知识。
复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。
盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行“拖动”,使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动,从而达到抽气目的。
筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽,如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。在设计制造中,可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角 ( 螺旋升角 ) 来达到较理想的抽气效果。
在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。因此,在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构,以提高泵的抽气性能。
随着复合分子泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得无油污染的清洁真空环境。巩华真空泵油厂家生产GHV-F500分子泵油能够帮助符合分子泵更好的获得超高真空,巩华分子泵油具有良好的润滑性能,能够满足泵轴承高速运转的润滑要求;良好的热安定性和氧化安定性,可在高温,高转速工况下连续工作;在油品粘度较低的情况下,仍具有很低的饱和蒸汽压,作为分子泵专用油起到给轴承降温,减少轴承滚珠磨损,清洗分子泵轴承的作用,避免污染物附着在轴承上延长了分子泵的使用寿命,是优质的分子泵专用油。