真空蒸镀成品的纯度高、密实性好、表面光亮不需要再加工,这就使得薄膜的力学性能和化学性能比电镀膜和化学膜好,在真空条件下进行是进行真空蒸镀的首要条件,真空度对真空蒸镀工艺有什么影响呢?除此之外还有什么会对真空蒸镀工艺造成影响呢?巩华真空泵油厂家根据为真空蒸镀服务的经验为您总结相关信息。
(1)基体表面状态
基体表面清洁度、温度以及表面的晶体结构均影响蒸镀过程。
①表面清洁度:油膜、乙醇类物质会污染膜且使结合力显著降低。
②表面温度:基体温度低有利于膜的凝聚形成,但不利于提高膜与基体间的结合力。基体表面湿度适当升高时,使膜与基体间形成一层薄的扩散层,以增大膜对基体的附着力,同时也提高膜的密度;实际蒸镀时,基体表面温度的确定一般取决于蒸发源物质的熔点。
③基体表面的晶体结构:基体为单晶体,镀膜也会沿原晶面成长为单晶膜。
(2)基体表面与蒸发源的空间关系
蒸镀膜的厚度分布由蒸发源与基体表面的相对位置以及蒸发源的分布特性决定。以点蒸发源为例,基体表面为一平面时,由于平面各处距蒸发源的距离不同,会出现膜厚不均匀的现象。故一般都应使工件旋转,尽可能使工件表面各点处与点蒸发源的距离相等或相近。
(3)真空度
理想条件下希望尽量减少蒸气原子与气体分子间的碰撞,使它们到达基体表面后有足够的能量进行扩散、迁移,形成致密的高纯膜,提高成膜质量。因此要保证蒸镀前有较高的真空度,否则,蒸气原子与气体分子间发生碰撞而损失能量,到达基体后易形成粗大的岛状晶核,使镀膜组织粗大,致密度下降,膜表面粗糙,成膜质量降低。
决定设备工作时真空度是否稳定,真空泵油也是其中一个重要影响因素。巩华真空泵油厂家生产的真空泵油采用进口基础油为原材料,油品经过深度切割和加工,具有优良的热稳定性和氧化安定性,避免油品在使用过程中氧化和热解生成的产物引起极限真空的变劣和污染真空系统,具有较低的饱和蒸气压,在高温、高负荷的工作环境下能获得稳定的极限压强。巩华真空泵油厂家建议您及时更换真空泵专用油是设备养护过程中重要的一步,长时间不更换真空泵专用油,会导致变劣的油品增加真空泵之间的摩擦,以及设备运转困难甚至于卡死烧毁。
(4)蒸发温度
蒸发温度直接影响成膜速率和成膜质量,通常将蒸发物质加热,使其平衡蒸气压达到几帕以上,这时的温度定义为蒸发温度。
以上就是对真空蒸镀工艺存在影响的几点因素,在真空蒸镀设备出现问题时,应当咨询设备厂家或者技术人员,切忌随意处置,造成不可逆的损伤。