近年来真空技术得到了广泛的应用,电子半导体行业主要包括电子技术、半导体、多晶硅/单晶硅、太阳能和光电显示领域,真空技术在电子半导体行业有着重要作用,真空泵在其中扮演着重要的角色,巩华真空泵油厂家本文为您分析真空泵在电子半导体行业的应用。
根据行业追溯后,整理电子半导体行业所需应用主要分为三大类:生产用真空(中高真空);清扫真空(粗真空);工艺真空(粗真空)。不同类型的领域需要不同的真空泵。
生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少,保持工作空间的洁净,主要使用的真空泵类型包括干泵(干式螺杆真空泵、爪式泵)和分子泵及其机组。生产用真空设备在数量上较大,单机功率较小。
清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送,此类应用主要采用水环泵和多级离心风机,因为真空度低所以更多的是采用多级离心风机,真空源是其系统的一部分。
工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、微油螺杆泵都是工艺真空中常见的真空设备。
不同真空设备所适用的真空泵油型号也不一样,巩华真空泵油厂家生产的真空泵油、扩散泵油、增压泵油、分子泵油,广泛应用于电子半导体行业。选择一款合适的真空泵专用油能够有效保证设备的高效运行,降低设备的故障率延长设备的使用寿命。巩华真空泵油厂家注重技术创新、管理创新、设备创新,研发出拥有自主知识产权的新产品。巩华精密而齐全的检测设备,多级分子蒸馏与薄膜分子蒸馏系统,全新工艺的精馏过滤装置,全自动化负压调和设备以及精湛的生产工艺和质量管理体系为生产出优质真空泵专用油提供可靠保证。