真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支,它已广泛地应用于光学、电子学、能源开发,理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相沉积法。如果从真空镀膜的目的是为了改变物质表面的物理、化学性能的话,这一技术又是真空表面处理技术中的重要组成部分,现就其几个主要应用方面做一简单介绍。
首先在光学方面,一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后,即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作任何预期比例的反射或透射材料,也可以作成对某种波长的吸收,而对另一种波长的透射的滤色片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开始、一直到新型建筑物的大窗镀膜玻璃,都很需要。増透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。
在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的地位。各种规模的集成电路。包括存贮器、运算器、高速逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁带、磁盘、半导体激光器、约瑟夫器件、电荷耦合器件(CCD)也都用到各种薄膜。
在显示器方面,录像磁头、高密度录像带以及平面显示装置的透明导电膜、摄像管光导膜、显示管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备。
在元件方面,在真空中蒸发镍铬,铬或金属陶瓷可以制造电阻,在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等可以制造电容器,蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓,蒸发钛酸钡可以制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层。
此外,还可以对珠宝、钟表外壳表面、纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜,以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。多年前还兴起过多弧离子镀制备钛金制品,如不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、高档床托架、楼梯栏杆等。
真空镀膜设备中真空获得设备起到十分重要的作用,真空泵油作为真空设备的工作血液,其产品质量关系到镀膜成品镀膜效果是否均匀等问题。巩华特油真空泵油厂家生产的100号真空泵油和高速真空泵油是镀膜设备专用油,具有适宜的粘度,真空泵启动速度快抽真空速度快,同时100号真空泵油和高速真空泵油还具有良好的氧化安定性、热安定性和抗泡沫性,长期工作产生氧化物少,真空度不会随着温度的升高而产生变化,有效保证设备的稳定运行。