随着太阳能光伏技术的发展,晶硅的需求也逐渐增大。目前常用的直拉法生产单晶硅工艺是采用减压拉晶工艺。
这种工艺既要求真空度的高度稳定,又要求氩气能够平稳连续的通过炉膛。采用这种工艺可以在硅单晶生长过程中,使向炉膛内充入的高纯度氩气气流从上而下地贯穿整个硅单晶生长的区域,及时地带走由于高温而产生出来的硅氧化物和杂质挥发物,确保硅单晶的品质。
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