真空计,又名真空表,是测量真空度或气压的仪器,能够对真空泵所达到的真空度进行测量,看此时真空泵是否达到工作所需的真空度。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。
根据测量的真空度范围和使用环境,现在常使用的真空计有电容式隔膜真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。这几种真空计利用了不同的物理现象,其中电容式隔膜真空计利用的是力,热电偶真空计利用的是热传导,电离真空计利用的是真空放电。选用真空计时应该注意以下事项:
1、真空计的量程和精度是否满足应用要求。每一种真空计都只适用于一定的压力范围,因此首先要明确选择的真空计的量程是否适用于所测的压力范围,以及精度是否满足。
2、被测气体是否会对真空计造成损害。例如氧气会使热传导、电离真空计的灯丝氧化等等,类似的影响就需要避免,否则会损害真空计,并造成测量不准。
3、所选真空计对被测的气态空间能否造成影响。如在油蒸气环境中使用电离真空计,油蒸气会污染灯丝并因为高温分解中碳氢化合物,影响测量灵敏度和误差。
4、真空计所测的压力是全压力还是分压力,是否已校准,仪器的灵敏度是否与被测的气体种类有关。
5、所选真空计能否实现连续测量,电气指示及反应时间如何。不同的真空计有些反应迅速,有些反应缓慢,对于是否符合测量需求,这些也需要搞清楚。
6、仪器的稳定性、可靠性以及寿命如何。
其他的可能还涉及接口类型,是否需要数字信号还是模拟信号等等要求。基本上了解上述的几方面内容之后,就该知道要选择什么样的真空计了。