常用的典型扩散泵抽气系统具体操作步骤分析

机械设备在使用中都应当遵循一定的操作规范，设备在启动时都有其相关的操作步骤。巩华真空泵油厂家本文为您详细介绍典型扩散泵抽气系统的具体操作步骤。
 
　　1）系统启动时，首先接通扩散泵的冷却水，调整水温继电器的温度设定值，然后开动机械泵进行粗抽。
 
　　2）启动机械泵前，要检查泵的油位是否合乎要求，高真空阀及前级阀是否关闭。打开粗抽阀，在中小型抽气系统中，只需要简单的粗抽管道。在某些特殊要求的大型真空室里，可采用多步程序进行粗抽：首先，可通过一个小直径的孔或旁路管道对真空室进行粗抽，当压力降到没有紊流存在时，再打开主粗抽阀门。
 
　　3）当真空室内的压力降到100Pa之后，可打开前级管道阀并给扩散泵加热器通电。如果扩散泵已经处于真空封闭状态，则可在步骤1） 中同时加热扩散泵。当扩散泵刚开始通电加热时，如果电源有调压器时，开始可适当增加点电压，但泵油接近于蒸发温度时应把电压调回到规定电压，这样可加快起动。但应注意时间过长会造成泵油裂化。
 
　　4）一般将系统粗抽到15~20Pa左右时，关闭粗抽阀，等扩散泵正常工作后（即油蒸汽射流正常喷射），打开高真空阀进行抽气。
 
　　5）如果扩散泵正常工作一段时间后，被抽容器的真空度仍不提高，则说明系统漏气率太大，应当关闭高真空阀，待系统漏率符合要求时再打开高真空阀进行抽气。
 
系统停止运转时应按下述步骤进行：
 
　　1）关闭高真空阀。
 
　　2） 如果在扩散泵入口与高真空阀之间装有液氮冷阱，则在关闭高真空阀后，应使冷阱升温，让扩散泵抽走冷阱放出的气体和蒸汽。冷阱升温可采用自然升温和用干燥氮气吹液氮储罐两种方法。前者升温时间较长，后者可使升温时间大大缩短。
 
　　3）切断扩散泵加热电源。如有冷阱，可在冷阱温度回升到0℃时，切断扩散泵电源。
 
　　4）当扩散泵冷却到50℃时，关闭前级阀，然后关掉机械泵，并立即向泵内放入大气（可通过电磁放气阀自动完成）。
 
　　5）关掉扩散泵的冷却水。
 
6）在真空系统停止工作时，如无特殊要求，应将系统各元件保持在真空状态下封存，但机械泵内应通大气。
 
保证扩散泵抽气系统的良好工作，选择一款优质的真空泵专用油是十分重要的，扩散泵在扩散泵抽气系统中扮演着重要角色，巩华3号扩散泵油是优质的扩散泵专用油，巩华3号扩散泵油经多次分馏，饱和蒸汽压低，抽真空更快，提高生产效率，在蒸气流的作用下，可以获得较高的真空；具有较窄的馏分，提高了抽气速度，降低了设备运行成本；优良的热安定性和氧化安定性，保证了油品在泵腔内持续加热、汽化、喷射、冷却的过程而不变质；分子量大，油蒸气遇冷迅速冷却回流，降低了返油率，保证设备的清洁使用，是优质的扩散泵专用油。扩散泵真空抽气系统配备的真空泵不止一种，不同型号种类的真空泵所适用的真空泵专用油也不相同，企业在进行选择时，应多加注意，有不明白的地方欢迎咨询巩华真空泵油厂家。