真空镀膜设备的日常维护与保养维修技巧

现在很多厂家对于真空镀膜设备的维护保养都不是很清楚，在需要进行保养维护的时候，结果却无从下手，让很多有真空镀膜设备厂家非常头痛。巩华特油为您整理相关真空镀膜设备的保养技巧。
1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法是：用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁，( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
 
2、当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，需更换新油。方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。需要选择品质优良的真空泵油，巩华特油100号真空泵油是真空镀膜设备用油，100号真空泵油具有适宜的粘度，在低温下能迅速启动，在高温下具有良好的密封性，分别满足规定要求的真空度和使用场合。
 


3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。