油扩散泵受到污染该如何进行清洗

油扩散泵在使用过程中，受到污染主要原因就是来自真空系统的返油。　　

系统中污染物的主要来源如下： 　　
1、扩散泵油蒸汽的返流，这是主要的污染来源。同时前级油封机械泵油的返流也是比较严重的一个问题，很多真空工艺过程的污染来自机械泵返油。当机械泵停止运行时如不及时向泵内放大气，机械泵油可直接返到扩散泵油锅内。当扩散泵起动时对系统的污染更为严重。 　　　
2、在进行装配的过程中，用有油的手拿系统中的零部件，导致零部件粘染有机分子造成系统内的污染。 　　　　
3、抽气系统中密封材料的放气造成的污染。如人造橡胶密封圈，密封油脂，润滑油等。
4、当停泵后放大气时，使真空零部件在空气中粘污上水蒸汽，油烟等，造成对真空系统的污染。 　　

油扩散泵受到污染的解决办法： 　
1、在扩散泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。　　
2、通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区(切换过渡区)或者加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。 例如，可使一个按照预定速度开启的高真空阀，逐渐地开启它，保证进入扩散泵的气体流量低于它的最大排气量，并且又使机械泵抽速保证扩散泵前级压力，以使扩散泵能树立工作。这样就能避开过渡区的出现。加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。  　　
3、改善操作工艺，将扩散泵的加热功率调至最佳功率，避免出现泵油爆沸现象;一般扩散泵在加热开始和关闭过程中，返流将出现峰值，所以可用泵口处的高真空阀门来控制避免返流。 　　 　　
4、选用优质的扩散泵专用油。巩华特油3号扩散泵油、274/275高真空扩散泵硅油进口基础油为原材料，是扩散泵专用油，巩华特油3号扩散泵油、274/275高真空扩散泵硅油油蒸气遇冷迅速冷却回流，降低了返油率，具有良好的热安定性和氧化安定性，保证油品在泵腔内持续加热汽化喷射冷却的过程不变质。