扩散泵油作为扩散泵专用油，是产生蒸气动力源的工作液，广泛应用于在真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验等行业中，当扩散泵油受到氧化导致油品太脏或者出现变质的现象，会影响设备抽真空的速度，同时会导致极限真空度的恶化，那么造成扩散泵油氧化的原因是什么，该如何进行处理呢？
扩散泵管道末进行预抽真空，就开始对扩散泵油进行加热.因为扩散泵油在加热时若遇到空气会导致扩散泵油氧化变质，加热的扩散泵油未充分进行冷却时，放入大气也会使扩散泵油容易氧化。巩华特油3号扩散泵油是扩散泵专用油，具有优良的热安定性和氧化安定性，保证3号扩散泵油在泵腔内持续加热汽化、喷射、冷却的过程而不变质。
当扩散泵油氧化变质后，需要进行及时的清洗和更换。将油扩散泵拆下，将喷咀系统取出，尽量将其拆成单个零件；将被氧化或者是劣化了的油倒出，一般情况下，劣化的油是呈褐色的；喷咀系统各零件及扩散泵内壁可以用石油醚或四氯化碳进行清洗，如果仍清洗不掉则可以用金属擦膏来清洗，在这一过程需要注意的是不要将金属喷口损坏；然后装入干净的扩散泵油（油量要适当），最后将扩散泵重新装配起来。
