真空蒸镀是真空镀膜技术的一种,是指在真空的环境下,通过一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(膜料)并使之汽化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法,由于其具有成膜方法简单、致密性以及薄膜纯度高、膜结构和性能独特等优点,在光学电子工业如透明导电膜、导电膜、绝缘膜等生产中有着广泛的应用。
真空抽气系统由(超)高真空泵、低真空泵、排气管道和阀门等组成。此外,还附有冷阱(用以防止油蒸气的返流)和真空测量计等。蒸发室大多用不锈钢制成。在蒸发室内配有真空蒸镀时不可缺少的蒸发源、基片和蒸发空间。此外,还置有控制蒸发原子流的挡板,测量膜厚并用来监控薄膜生长速率的膜厚计,测量蒸发室的真空变化和蒸发时剩余气体压力的(超)高真空计,以及控制薄膜生长形态和结晶性的基片温度调节器等。
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设备是选择100号真空泵油还是高速真空泵油,不是随意决定的,需要根据设备的型号、工作所需的真空度以及工作环境温度等其他状况共同决定,真空设备企业在不清楚设备选用什么型号的真空泵专用油时,应当咨询相关设备厂家或者技术人员,避免由于油品选择错误,造成设备运转不畅甚至于设备损坏,增加企业生产成本。
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