油扩散泵真空系统的污染物来源与消除

油扩散泵在使用过程中经常遇到的问题就是油蒸气的污染，这是很多油扩散泵使用企业头疼的问题，一方面油蒸气的污染影响环境，另一方面会导致泵油受到污染，影响设备的运行。
巩华扩散泵油厂家根据多年扩散泵油研发服务的经验，为您分析油扩散泵真空系统污染物的来源以及如何消除。
 
系统中污染物的主要来源如下：
（1）抽气系统中密封材料的放气造成的污染。特别是人造橡胶密封圈，密封油脂，润滑油等，也同样造成严重的污染。
（2）扩散泵油蒸汽的返流。这是zui重大的污染源。
（3）前级油封机械泵油的返流。这个问题也很严重，当入口压力较高时，在达到过渡区（1～10-1Pa）压力时，机械泵的油蒸汽即可直接进入扩散泵内，对系统直接进行污染。很多真空工艺过程的污染来自机械泵返油。当停机械泵时如不及时向泵内放大气，机械泵油可直接返到扩散泵油锅内。当扩散泵起动时对系统的污染更为严重。
（3）系统中的零部件，在装配时用有油的手拿。用有油污的手套拿，这样粘染的有机分子可以造成系统内的污染。    
（5）当停泵后放大气时，使真空零部件在空气中粘污上水蒸汽，油烟等，造成对真空系统的污染。



   消除系统油蒸气返流的具体措施为：
（1）通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区（切换过渡区）。例如，可使一个按照预定速度开启的高真空阀，逐渐地开启它，保证进入扩散泵的气体流量低于它的zui大排气量，并且又使机械泵抽速保证扩散泵前级压力，以使扩散泵能树立工作。这样就能避开过渡区的出现。
（2）加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。
（3）在扩散泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。
（4）改善操作工艺，将扩散泵的加热功率调至zui佳功率，避免出现泵油爆沸现象；一般扩散泵在加热开始和关闭过程中，返流将出现峰值，所以可用泵口处的高真空阀门来控制避免返流。     
（5）选用的扩散泵工作液。巩华扩散泵油厂家生产的3号扩散泵油是扩散泵专用油，经多次分馏，饱和蒸汽压低，抽真空更快，提高生产效率，在蒸气流的作用下，可以获得较高的真空；具有较窄的馏分，提高了抽气速度，降低了设备运行成本；优良的热安定性和氧化安定性，保证了油品在泵腔内持续加热、汽化、喷射、冷却的过程而不变质；3号扩散泵油分子量大，油蒸气遇冷迅速冷却回流，降低了返油率，有效减少对真空系统的油蒸气污染。