为您讲解真空机组抽气的三个阶段

不放气的即使真的不漏气，放气老是存在实际上(3式反映的泵在抽除真空室内空间气体的过程中压力的变化纪律。当压力较高时，水环真空泵系统的漏气量和放气量相对空间的气体量较小时，其影响可以忽略，可以认为近似满足不漏气和不放气的条件，也就是3纪律能近似成立。当压力较低时，系统的漏气量和放气量不成忽略甚至成为主要的气体负载时，3纪律就要发生偏离，暗示在压力下降变为迟缓，一般发生这一改变的压力在0.5Pa摆布，因此一个真空系统典型的抽气过程先是压力下降很快，某一压力开始变慢。由于一个及格的真空系统对其漏率有严格的要求，所以放气是影响系统压力降低的主要因素，而放气是一个迟缓的过程，即使采用烘烤等强化法子，要达到某一预定的压力，往往要经由很长的时间。

任何真空系统都但愿尽量缩短抽气的时间，这关系到提率和降低能耗，但并不是所有的真空应用都具有缩短抽气时间的条件。水环真空泵可以把分歧的真空应用分为两大类：水环真空泵一类是不改虑系统内的放气量，而只有真空度的要求;另一类是要求真空室内充沛的放气，即放气率要降到某一临界值。这两类分歧的应用对泵配置的要求是纷歧样的对于前一类应用，如真空度要求在0.5pa以上，只要时间常数足够的小，便可昼量缩短抽气的时间。但如真空度要求在0.5Pa以下，就必需改虑放气对压力变化的影响。放气量随时间的变化迟缓。出格是无烘烤的环境下。要在预定较短的时间内达到较高的真空度，就必需以较大的抽速抽除较大的放气量。也就是说如放气量为Q泵的有效抽速为S0则可达到均衡压力P=Q/S0如均衡压力确定，则达到时间越短，要求泵的有效抽速就越大。


　　
蒸发镀膜就是典型的这类的应用，由于蒸镀的速度快，时间短，所以不考虑放气量的影响(即活性气体的影响)但蒸发粒子的能量低，要求绝大部门粒子无碰撞地沉积到工件上，以保证连系力及减少散射，这就要求真空室内的平均自由程不小于蒸发源到工件的距离，与此相应的压力约在110-2Pa这即是蒸发镀膜对真空度的要求。如何在尽量短的时间内达到这一压力，水环真空泵就对泵的有效抽速提出了要求，原则是时间越短，水环真空泵由于放气量越大，有效抽速就要求越大。所以蒸发镀膜一般配置抽速强大的油扩散泵机组，功率有数十千瓦，几分钟至十几分钟内便可达到工作真空度，但该系统对工件造成的油蒸汽污染是难以防止的出格是塑料金属化膜层易发黄。

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