扩散泵用油一般用扩散泵油，KS-3扩散泵油是巩华特油专注生产研究产品之一。
油蒸气的污染是油扩散泵抽气系统最大的缺点，扩散泵油蒸汽的返流是最大的污染源，除此之外操作过程中，用有油的手进行零部件的装备，抽气系统中特别是人造橡胶密封圈、密封油脂、润滑油等密封材料放气都是造成污染的重要原因
消除系统油蒸气返流的具体措施：
1、 接通高真空阀之前，对扩散泵进行轻度烘烤除气；在启动和停机过程中用气体冲洗扩散泵。
2、 在泵入口系统中加液氮冷阱、吸附阱或升华阱，来捕集油蒸气。
3、 改进喷嘴挡油结构，采用憎油材料的冷挡油帽。
4、 改进系统操作工艺，尽量减少扩散泵在过载区的抽气时间；避免在泵开始加热和关闭加热期间接通高真空端。
5、 采用分馏型扩散泵，选用优质扩散泵油。
巩华ks-3扩散泵油分子量大，油蒸气遇冷迅速冷却回流，降低了返油率，产生污染物少。
