真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,真空镀膜设备是镀膜工业上的一个重要部分。借一真空镀膜企业家的话,真空镀膜表面技术就是为客户的产品做“美容”---外观更丰富多彩、更亮丽。真空镀膜技术已广泛的应用在如:装饰品、刀具、模具等金属切削工具、光学仪器、集成电路制造、太阳能利用、平板显示器、建筑玻璃和汽车玻璃、防伪技术、飞机防护涂层、信息存储领域、传感器等等,真空泵是真空镀膜设备中不可缺少的重要配件,巩华真空泵油厂家本文为您介绍真空镀膜中常用的几种真空泵。
真空镀膜常用的真空泵有如下几种:
一、真空镀膜旋片真空泵
真空镀膜中选的旋片真空泵主要由泵体(静子)和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片,有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内,其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2~3微米。转子旋转时,在离心力等作用下,旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低,被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。同时,与排气口相通的排气腔容积由大变小,吸入腔内的气体被压缩,待气体压力高于大气压力时,推开排气阀排出大气。转子连续转动,泵便不断抽气。旋片真空泵是油封式机械真空泵的一种,巩华真空泵油厂家生产的高速真空泵油是优质的旋片泵油,巩华高速真空泵油油品经深度加工、切割,芳烃和胶质成分含量少,避免油品受热变质产生热解,良好的耐高温性,使真空泵在长期高温使用下更加清洁;具有较低的饱和蒸汽压,不因泵体和油品温度的上升而影响真空极限压强;巩华高速真空泵油较好的抗乳化性和抗泡沫性,实现油水分离;良好的氧化安定性,避免油品氧化引起真空变劣,延长换油周期,是优质的旋片泵油。
二、真空镀膜罗茨真空泵
真空镀膜中罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个'8'字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。
罗茨真空泵
三、真空镀膜水环真空泵
真空镀膜中水环真空泵泵体中装有适量的水作为工作液,当叶轮按指示的方向顺时针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。
水环真空泵
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